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车间净化工程的发展史可以追溯到战争时期

车间净化工程(又称洁净技术或洁净室技术)起初是指以控制室内空气中悬浮颗粒物浓度为目标的相关技术。悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径的颗粒物的允许数量来表示,通常也称为空气的洁净度,并以此来划分洁净度等级。起初运用车间净化工程是为了提高产品(如仪器仪表)的成品率或降低其故障率。随着科学技术的发展,各种工业产品特别是微电子产品的密度越来越高,对生产环境的洁净度要求也越来越高,控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩展到有害气体。洁净技术在控制空气中的悬浮颗粒物的同时,也有效地控制了空气中的细菌和病毒等有害微生物,所以又逐步推广到医疗、制药、生物等领域,形成了当前比较完善的洁净技术体系。

车间净化工程

车间净化工程以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对象,主要为机械、电子产品、食品医疗等行业提供符合要求的生产环境。与其他高科技一样,车间净化技术的诞生及起初应用是服务于军事目的的。第二次世界大战中一些枪炮、战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业净化车间诞生了。起初的工业净化车间是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初空气过滤器研制成功并应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。微电子行业是现代工业洁净室应用的代表。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路迅猛发展,表1—1是对其集成度发展趋势的预测。

车间净化工程的发展史可以追溯到战争时期

从表l—1中可以看到,随着集成度的增加,元件中的线宽不断缩小,因此对空气中悬浮颗粒物的控制粒径也越来越小,一般认为控制粒径应当是线宽的1/10-1/3,但从表l—1看,由于线宽越来越小,这一要求也难以达到了。微电子产品的迅速发展对传统的洁净技术提出了极大的挑战,同时也促进了现代洁净技术的发展。现代工业洁净室虽然仍以悬浮颗粒物为主要控制对象,但在某些工艺过程对空气中分子态污染物也提出了控制要求。因此,车间净化工程技术的关键设备也从单一的粒子过滤器发展到可以吸附有害气态物质的化学过滤器。


文章来源:此网站出售 作者:此网站出售 发布时间:2019-01-08 23:44 浏览次数:

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